非蒸散型吸氣泵

非蒸散型吸氣泵多用鋯鋁合金吸氣材料（84%鋯、16%鋁）在高溫下吸附活性氣體的特性而制成的泵。該泵結構簡單，體積小，造價低，操作安全可靠，維修方便，清潔無油。對活性氣體尤其是對氫具有很高的抽氣能力。但不能抽惰性氣體。此外還有一種鋯釩鐵合金材料（70%鋯，24.6%釩，5.4%鐵）作為吸氣劑的活化溫度450℃，室下對活性氣體具有較大的抽速。

鋯鋁泵對氫及其同位素氘、氚的吸氣是可逆的，而對其他活性氣體的吸氣是以穩定的化學物擴散到吸氣劑體內，但存在飽和壽命問題。在10-8~1Pa壓力范圍內抽青速率幾乎保持恒定。對氣體活性氣體CO、CO2、O2、N2、H2O等的吸氣抽率，在壓力低于10-3Pa時，在400℃溫度下達到飽和。該泵對活性氣體的吸氣速率隨著吸氣劑吸氣量的增加而降低。當吸氣速率隨著吸氣量的增加而達到名義抽速的80%時，要在高溫下再激活處理。在激活的次數一般可達20次。

這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放H2及其同位素氘、氚；在高等加速器的真空系統中與分子泵或濺射離子泵同時工作，能提高真空系統的極限真空；還可以用于轉運H2及其同位素；用在超高真空裝置時，連同裝置一起放進烘烤裝置中，不用外加電源便可作烘烤時的維持泵使用；也可用于濺射離子泵的啟用。