真空泵的參數(shù)及分類

抽氣原理的選擇或所用真空泵的選擇受特定參數(shù)的限制。這些參數(shù)主要是:最低壓強(qiáng)、壓強(qiáng)范圍、抽速、排氣壓強(qiáng)。在超高真空范圍內(nèi)，還要加上另外兩個參數(shù):泵的選擇性及殘余氣體的成分。

排氣壓強(qiáng)是泵在這一壓強(qiáng)下可以進(jìn)行排氣的壓強(qiáng)。根據(jù)這個觀點(diǎn)，真空泵可大致分為三類：

1)往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱為粗抽泵或前級泵。把系統(tǒng)中空氣抽除到某一需要的工作壓強(qiáng)稱為對該系統(tǒng)粗抽。在另一泵的出口處保持的一個所需的低壓強(qiáng)稱為前級壓強(qiáng)。機(jī)械旋轉(zhuǎn)泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。

2)只往低于大氣壓的環(huán)境中排氣的泵。這種泵需要一個前級泵(申聯(lián))向大氣中排氣。擴(kuò)散泵、羅茨泵及分子泵均屬于這種類型。它們都需要一個前級泵。

3)可束縛住系統(tǒng)中的氣體和蒸汽的泵。這種泵不需要出氣口，是根據(jù)電離或吸著原理制成的。