現象：真空泵抽空能力下降，經測試真空泵在無負載狀態下極限真空為8Pa；真空泵進行拆解保養后，真空泵在無負載狀態下極限真空小于1Pa。
維護保養的過程：對帶回真空泵進行拆解保養及保養后性能測試，在拆解后發現真空泵腔體內有大量雜質沉積，真空油混濁且粘稠度較高，各級旋片出現不同程度磨損，止逆閥損壞、排氣閥片斷裂，具體說明如下：
1、真空泵油混濁且粘稠度較高，主要原因與腔室內大量雜質沉積和真空油更換周期較長有關，下圖為真空泵腔室內放出的真空油及加入的新油。
2、真空泵抽氣濾網有大量雜質沉積，網孔出現堵塞：
3、真空泵腔室內有大量雜質沉積和粘附，雜質會隨真空泵的運行而流動，易造成真空泵轉子卡死、真空泵各級旋片劃傷及損壞、封堵油路、排氣閥片斷裂等情況，影響真空泵的抽空能力甚至導致真空泵轉子等主要部件損壞。
因大量雜質已經粘附于腔室內，普通清洗難以去除，需采用化學試劑浸泡清洗和物理打磨的方法去除。經確認，腔體內雜質以膠渣沉積物為主，其他成分無法確定，還需與客戶進行技術探討進行深入了解。
4、排氣閥片斷裂，下圖為換下的排氣閥片的新舊對比：
排氣閥片在真空泵內起到單向閥的作用，斷裂后排氣閥片單向閥作用失效，導致真空泵無法正常抽真空，從而真空泵抽真空能力下降。
5、真空泵內各級旋片出現不同程度磨損及劃傷，真空泵一級旋片側面摩擦面弧度已經被磨平，導致旋片配合間隙變大，影響抽空能力。
6、真空泵油位監視玻璃已經出現腐蝕及雜質附著的情況，無法清晰的對真空泵腔室內的油位進行觀察。
7、真空泵轉子抽排氣濾網已經損壞，出現一定程度的腐蝕情況。
8、真空泵腔體密封圈已經損壞，不能繼續使用可能會造成漏油現象。
9、真空泵止逆閥已經損壞，導致抽真空下降。
10、真空泵維護保養項目總結：
1）真空泵油更換；
2）真空泵內腔體及轉子清洗、拋光；抽氣濾網清洗；
3）真空泵一級旋片、二級旋片、小旋片更換；一級旋片及二級旋片各一幅（兩片），小旋片為一片；
4）真空泵排氣閥片更換；
5）真空泵油位監視窗玻璃更換；
6）真空泵轉子抽排氣濾網更換；
7）真空腔體密封圈更換。
8）真空泵止逆閥更換。
建議：在拆解檢測中發現真空泵腔體內含有一些酸性雜質附著于腔體內壁及其他配件中，且真空泵內雜質太多，極易造成真空泵損壞，請注意真空等離子清洗機的真空泵需進行定期的拆解維護保養。
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